國內外激光清洗技術的現狀

來源 : www.comp-geeks.com   發布時間 : 2020/9/18 5:08:00

國外激光清洗的去污范圍非常廣泛,從厚銹層到激光表面微細顆粒都可以去除,已有近30年的使用經驗,在去污中涉及激光清洗實驗所使用的設備種類也比較多,所用激光器的波長范圍廣。但激光清洗技術的發展不平衡,有些已實現工業化,有的還處于實驗室階段。目前歐美國家的激光清洗市場表現穩定,主要供應商包括P-laser, CleanLaser, Adapt Laser Systems, General Lasertronics,IPG等。具體包括激光模具的清洗方面,已經發展到1000 W激光手動清洗機;電子線路清洗采用248 nm、3 W、20 ns的激光,已實現工業化;采用248 nm、5 W的納秒紫外光清洗芯片,取得非超好的效果;在光掩膜領域,紫外激光已經完全取代傳統化學清洗方法;在激光除銹、激光除污染物方面,已經規;瘧,而且實驗先于理論。另外在半導體領域、磁頭和絕緣體領域已經開始實驗驗證。


我國激光清洗技術的研究和設備的開發起步晚,基本上是跟蹤國外的發展,雖然在較短時間內取得了一些成果,但與國外相比還有較大差距。目前從事激光清洗的科研機構包括中國工程物理研究院激光聚變中心、解放軍裝甲兵工程學院再制造中心、哈爾濱工業大學、華中科技大學、南開大學等。盡管近年學術界激光清洗的研究文章逐漸增多,清洗材料種類和應用領域逐漸擴大。

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